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SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空计,如何重塑高精度真空测量

更新时间:2025-12-11      浏览次数:13

SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空计是一款具备高精度、宽测量范围及多功能扩展性的进口真空测量设备,适用于半导体制造、科研实验、工业生产等对真空度要求严苛的场景。以下是对该产品的详细介绍:

一、产品概述

SATOVAC佐藤真空PG-D5A皮拉尼真空计是一款数字型真空测量仪器,采用热传导原理进行真空压力测量。其核心部件包括金属圆筒内部的白金细线,通过测量气体分子碰撞白金细线导致的热量变化,实现真空压力的精确测

二、产品特点

1、宽测量范围:PG-D5A型号具备6个量程自动切换功能,测量范围从1×10⁵Pa(接近大气压)至1.3×10⁻¹Pa,覆盖了从大气压到高真空的广泛测量需求。

2、高精度测量:采用热传导原理和温度补偿技术,有效减少了环境温度变化对测量精度的影响,确保读数的准确性。

3、数字与条形图双重显示:数字显示精确数值,条形图直观展示压力趋势,便于用户快速判断系统状态。

4、多功能扩展性:配备通信功能和BNC输出等扩展功能,可用于各种控制、FA系统等多种用途。同时支持6点继电器接点输出,用户可自由分配设定点,满足不同应用场景的需求。

5、易于安装与集成:采用标准化测头设计,安装φ15mm测头口,便于集成到各种真空系统中。紧凑的尺寸设计(144×220×96mm)和轻量化(1.8kg)便于安装和搬运。

三、多元化应用领域

1、半导体制造:在溅射、CVD、蚀刻等工艺环节中,精确的真空控制是保证产品质量的关键。PG-D5A皮拉尼真空计用于监控这些工艺过程中的真空度,确保工艺条件稳定可靠。

2、科研实验:在表面物理、核能、航天等研究领域,皮拉尼真空计提供精确的真空测量,为科学研究提供可靠数据支持。

3、工业生产:在真空冶金、机械工业等领域,PG-D5A适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量,提供快速、可靠的真空度监测。

4、其他领域:在医疗卫生、化工领域,特别是冷冻干燥、灭菌工艺中,PG-D5A用于监控工艺过程中的真空度,确保产品质量和工艺重现性。与此同时在能源领域和航空航天行业中,真空技术对产品性能和可靠性至关重要,PG-D5A皮拉尼真空计在这些领域提供必要的测量保障。

四、技术规格

1. 测量范围:1×10⁵~1.3×10⁻¹Pa(6个量程自动切换)

2. 压力单位:Pa

3. 控制输出:6点继电器接点输出(AC110V,0.5A,阻性负载)

4. 记录仪输出:全量程DC5V/10V切换

5. 电源电压:AC100V~240V±10%,50Hz/60Hz,30VA

6. 尺寸:144×220×96mm

7. 质量:1.8kg

PG-D5A.jpg


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